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真空探針熱臺安全注意事項

更新時間:2021-12-08點擊次數(shù):2567
  真空探針熱臺可進行真空環(huán)境下的高低溫測試(4.2K~500K),可升級加載磁場,低溫防輻射屏設(shè)計,樣品臺采用高純度無氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置,支持光纖光譜特性測試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動,器件的高頻特性(支持頻率上達67GHz),探針熱沉設(shè)計,LD/LED/PD的光強/波長測試,自動流量控制,材料/器件的IV/CV特性測試等。
  真空探針熱臺關(guān)機操作:
 ?。?)所有圓片測試完畢后,載片吸盤上沒有圓片且已回到右下角上料位置,此時可以關(guān)機。
 ?。?)關(guān)閉顯微鏡照明燈開關(guān)。
 ?。?)關(guān)閉自動探針臺電源模塊上的主機電源。
  (4)關(guān)閉自動探針臺總電源(即電源插座開關(guān)),確認散熱風扇處于停止狀態(tài)。
 ?。?)關(guān)閉真空閥(順時針為關(guān))。
  (6)關(guān)閉壓縮空氣閥(順時針為關(guān))。
  真空探針熱臺安全注意事項:
 ?。?)在沒有真空或壓縮空氣(或壓力不足)的情況下嚴禁開機測試。
 ?。?)為了保護設(shè)備,開機時必須先開真空和壓縮空氣閥,再開自動探針臺電源模塊上的主機電源;關(guān)機時必須先關(guān)自動探針臺電源模塊上的主機電源,再關(guān)真空和壓縮空氣閥。
 ?。?)打開自動探針臺電源模塊上的主機電源之前,必須確認散熱風扇處于轉(zhuǎn)動狀態(tài),不正常工作可能會燒壞主機電源。
  (4)設(shè)備正常測試時嚴禁打開設(shè)備上的參數(shù)設(shè)置面板和操作控制面板。
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